真空機器 |
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安全にお使いいただくために |
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3・4ポート/小形真空用直動形電磁弁/ポペットシール |
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VA01シリーズ/個別注意事項 |
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VA05シリーズ/個別注意事項 |
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アプリケーション回路例 |
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VAシリーズ特長 |
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VA シリーズ |
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形式 |
ポート数 |
真空流量
(L/min(ANR)) |
ポートサイズ |
配管 |
VA01P□24 |
4 |
- |
M5 |
サブベース |
VA05P□24 |
- |
Rc1/8 |
VA01PS□23 |
3
(2位置) |
22 |
M5 |
VA01PL□23 |
22 |
VA01PEP34 |
3
(3位置) |
20 |
VA01RDP33 |
10 |
直接 |
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直動形3ポート2位置電磁弁 VA01 23シリーズ |
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・ |
シングルソレノイドに新タイプ登場!高速応答ON3ms/OFF3ms |
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ボディ幅10mmの小形3ポート直動形電磁弁ではクラス最大級の
大流量
真空 0.2 dm3/(s・bar) 正圧 0.12dm3/(s・bar) |
・ |
プラスティックボディ採用により質量25gと超軽量 |
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直動形4ポート2位置電磁弁 VA01 24シリーズ(巾10mm) |
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・ |
超高速応答タイプをラインアップ ON3ms/OFF1.5ms |
・ |
巾10mmでCv値 0.2dm3/(s・bar)と小形・大流量 |
・ |
主弁は摺動部のないダブルポペット構造を採用し、長寿命
5億回をクリア(当社試験条件にて) |
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VA05 24シリーズ(巾15mm) |
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・ |
高性能「積層形ソレノイド」採用によりソレノイド磁気効率を
大幅にアップ! |
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大流量 C値 0.7dm3/(s・bar) と 高速応答 ON5.5ms/OFF
3msを実現 |
・ |
長寿命 1億回(当社試験条件にて)をクリア |
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直動形3ポート3位置電磁弁 VA01RDP33シリーズ |
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・ |
クローズドセンタ形3ポジション電磁弁、直接配管モデル |
・ |
真空破壊の流路にニードル弁を設け、吸着ワークに合わせて
真空破壊流量の調整が可能 |
・ |
真空流量調整用絞り弁付マニホールド(オーダメイド) |
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直動形4ポート3位置電磁弁 VA01PEP34Aシリーズ |
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独自の大気開放機構付き3ポジション電磁弁、サブベース
配管モデル |
・ |
真空破壊の流路にニードル弁を設け、吸着ワークに合わせて
真空破壊流量の調整が可能 |
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微圧(50kPa~)の真空破壊が可能で、微小ワークの吹き飛ばし
を防止 |
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PV07シリーズ/個別注意事項 |
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PV07PS23/RS23シリーズ |
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高速応答 ON/OFF 6ms |
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コンパクト
幅11mm PV07PS23 (サブベース形)
幅15mm PV07RS23 (直接配管形) |
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ラージフロー CV 0.35, 450L/min at 0.5MPa |
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用途に合せて最適なセンサの選択が可能 |
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2色表示式圧力センサ MPS-32シリーズ |
・ |
デジタル2色表示 |
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簡単操作 |
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分離形圧力センサヘッド MPS-8シリーズ |
・ |
小形、軽量、多彩な圧力ポート仕様 |
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分離形圧力センサ表示ユニット MPS-7シリーズ |
・ |
表示ユニットがセンサヘッドと分離 |
・ |
真空圧・標準圧・連成圧を見やすい場所で圧力管理可能 |
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VT4シリーズ |
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・ |
脈動のないロータリーベーンタイプ |
・ |
完全ドライ、オイルレス |
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モーター一体のコンパクトで斬新な設計 |
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静音、長寿命でメンテナンスフリー |
・ |
高真空度 到達真空度-85kPa(常用) |
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クリーンルームクラス1000対応可能
(オプション:外付けフィルター) |
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LFシリーズ |
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通気性優先の粗メッシュタイプ・新登場 |
・ |
小型コンパクト |
・ |
用途スペースに応じたバリエーション |
・ |
正圧 ブロー用として使用可能 |
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LFMシリーズ |
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・ |
高ろ過精度0.01μmしかも大流量 |
・ |
ミスト除去に対応 |
・ |
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SLシリーズ |
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シリーズ |
ポートサイズ |
SL-1 |
Rc1/8 |
SL-2L |
Rc1/4 |
SL-6 |
Rc3/4 |
SL-8 |
R1 |
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AS シリーズ |
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シリーズ |
ポートサイズ |
AS-5 |
M5×0.8 |
AS-6 |
Rc1/8 |
AS-8 |
Rc1/4 |
AS-10 |
Rc3/8 |
AS-15 |
Rc1/2 |
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