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超低リーク、
超高速応答バルブ
パルスバルブ Series9
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| 特 長 |
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アプリケーション事例 |
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超高速応答 応答時間 160μｓｅｃ
最高作動頻度 120Ｈｚ |
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超低リーク 1×10－7ｃｃ/ｓｅｃ/ａｔｍ ヘリウム |
| ・ |
パルスバルブを使用することで、レーザー・パルスをガス・パルスと同時化させて信号対雑音比を増加させ、更に注入ガスの温度を低下させます。
その為、分子は液体に変わらずに、温度低下をし、 より高いピーク強度は、温度低下した分子のより単純なスペクトルにより 達成することができ、高精度な分析結果を得ることが出来ます。 |
| ・ |
極めて少ないサンプル量で分析出来ます。 |
| ・ |
接液部は、SUS316を使用 ポペットは、材質選択可能 |
| ・ |
オリフィスは、４種類から選択可能 |
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| 仕 様 |
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| バルブタイプ |
2方弁 ﾉｰﾏﾙｸﾛｰｽﾞ ﾌﾗﾝｼﾞﾏｳﾝﾄ |
| 流体 |
液体、ガス |
| 入力ポート |
A-Lok VacuSeal |
| 接液部材質 |
Body:SUS316 O-Ring:FFKM
ﾎﾟﾍﾟｯﾄ:PTFE Vespel |
| オリフィス |
0.004"(0.10mm) 0.020"(0.51mm)
0.031"(0.79mm) 0.039"(1.00mm) |
| 電圧 |
DC20V DC28V |
| 使用圧力範囲 |
-0.8～8.6Mpa (ｵﾘﾌｨｽ 0.1mm 0.51mm 0.79mm)
-0.8～5.1Mpa (ｵﾘﾌｨｽ 1.00mm) |
| 応答時間 |
160μs～5ms |
| 内部リーク |
1×10-7cc/sec/atm ﾍﾘｳﾑ |
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