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| 超低摩擦シリンダ メタルシールシリンダ ＭＣシリーズ |
| <オーダーメイド> |
| チューブ内径φ11、φ16、φ20、φ25、φ30 |
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超精密加工を施したメタルシール構造
極めて小さい摺動抵抗！
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| 低圧動作 |
： |
０．００５Ｍｐａ |
| 低速動作 |
： |
０．５ｍｍ/ｓ |
| 微少荷重制御 |
： |
０．０１Ｎ |
| 長寿命 |
： |
１０,０００ｋｍ（当社試験条件による） |
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| ・ |
テンションコントロール |
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コイル巻線のテンションコントロール用に最適 |
| ・ |
押圧コントロール |
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ウェーハなどの研磨押圧コントロール用 |
| ・ |
低速動作 |
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低速動作が必要な精密機器・部品などの搬送用 |
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＜仕様＞
| 形式 |
ＭＣ２ |
| チューブ内径 |
φ11φ16 φ20 φ25 φ30 |
| 使用流体 |
無給油 クリーンエア（注） |
| 最高使用圧力 |
0.8 MPa |
| 最低使用圧力 |
0.005 MPa |
| 周囲温度 |
-10〜80 ℃ |
| 使用ピストン速度 |
0.5〜300 mm/s |
| クッション |
ラバークッション |
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＜表示方法＞
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＜バリエーション＞
| チューブ内径 mm |
最大ストローク mm |
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φ11 |
50 |
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φ16 |
100 |
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φ20 |
100 |
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φ25 |
100 |
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φ30 |
150 |
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| （注）使用空気はミストクリーナを通した空気をご使用ください。 |
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| ＜構造＞ |
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