お問い合わせは最寄の営業所へ

Vacuum Technology

戻る

ノンダスト　インラインフィルタ／LF-M5*　(オーダーメイド)

真空フィルタを設置しているが、真空吸着時に分離したダスト（パーティクル）が真空破壊時に破壊エアにより噴出してワークを再汚染してませんか？

→ノンダスト　インラインフィルタが有効です！

・ デュアルチェック弁構造 デュアルチェック弁構造で、真空吸着時の通路と真空破壊時の通路を別系統に分離し、エレメントで吸着分離したダストを真空破壊時に噴出さない構造にしてあります。 ・ フィルタの汚染状況の確認容易 フィルタエレメントの汚染状況は透明アクリルカバーにより容易に目視で確認できます。 ＜主な仕様＞ 使用流体 真空、無給油空気 ポートサイズ M5 使用圧力範囲 0.005〜0．5MPa 周囲温度 -5〜60℃(但し、凍結なきこと) 平均孔径 　60　μm 質量 　20　g 注） 平均孔径は40μmも可能です。ご相談ください。

＜内部回路＞ 真空吸着時 真空破壊時

＜外形寸法図＞ （単位：mm）